久久大香萑太香蕉av丨樱花草在线社区www日本影院丨婷婷久久五月丨久综合网丨久久伊人99丨久草免费av丨狠狠狠色丨国产精品天天干丨日产精品久久久久久久蜜臀丨国内揄拍国内精品少妇国语丨蜜桃av鲁一鲁一鲁一鲁俄罗斯的丨丰满人妻一区二区三区免费视频丨日韩日比视频丨九九视频精品在线丨性av+色av丨av一区二区三区在线观看丨婷婷色站丨台湾佬自拍偷区亚洲综合丨波多野结衣乱码中文字幕丨无码中文字幕乱码一区

機械社區

標題: 光刻機做成“光刻廠”，靠不靠譜？ [打印本頁]

作者: Callejon 時間: 2023-9-19 16:42
標題: 光刻機做成“光刻廠”，靠不靠譜？

距離華為Mate 60 pro突然開售已經過去半個月，線上預訂的粉絲們最近都陸續收到了新機。

但由于華為官方一直沒有召開手機發布會，因此這款手機上依然有非常多的謎團等待解開。

就例如，這顆突然“空降”的麒麟9000s處理器，究竟算不算5G芯片？華為又是如何在重重封鎖下，“手搓”這顆純國產芯片呢？

在這里，我們就不對華為背后的技術和進行過多揣測，但可以肯定的是，國產光刻機技術在近期有不小的突破。

巧的是，就在最近，一項來自清華大學的光刻機技術在網絡上火了起來，簡單來說，就是把光刻機做得足夠大，就能生產出EUV光刻機需要的光源。

這樣的腦洞，不僅路人們聽上去玄乎，就連不少技術人員也表示了驚嘆。

一時間，網上的解讀和質疑聲也是層出不窮。

什么是SSMB

這項由清華大學提出的技術，專業術語名叫“穩態微聚束”（steady-state micro-bunching），簡稱SSMB，是一種新型的粒子加速器光源。

最早由清華大學杰出訪問教授趙午教授與其博士生于2010年提出，并在2017年，與清華大學工程物理系教授唐傳祥合作，共同發起理論實驗。

在2022年的中國物理學會秋季學術會議上，研究組成員潘志龍提到了由SSMB技術造出來的光刻機，叫作“SSMB-EUV”光刻機，而這也正是最近討論的話題的來源。

圖源 |寇享學術

SSMB背后涉及的原理非常復雜，筆者并不能完全解釋，所以這里就結合幾位科普博主的講解視頻，簡單進行一點概括。

首先，光刻機的原理，是利用光刻機發出的光源，通過設定好圖形的光罩，對涂有光刻機的硅板進行曝光，從而“刻”出電子線路圖，再進行一些后期加工，最終形成芯片的雛形。

如果光源的波長越短、功率越大，這樣的“光刀”就更加鋒利，“雕刻”出來的電子線路圖也就更加精密，芯片的性能與算力也就越強。目前，波長僅為13.5nm的極紫外光（EUV），是高端芯片的唯一選擇。

從電磁波譜上看，EUV已經非常接近X-射線，這么高的能量，單靠物理操作很難實現。

ASML采用的是LPP模式，通過一臺功率大于20 kW的CO2氣體激光器轟擊液態錫，形成等離子體，從而產生極紫外光。

圖 |LPP-EUV

在找到EUV光源解決方案后，加上多年以來的光刻技術，ASML做出業內最頂尖的EUV光刻機，最終壟斷了整個市場。

值得一提的是，為ASML提供EUV技術的是美國公司Cymer，這是全球唯一能夠提供商用EUV光源的公司，國內自然無法從外部解決光源問題。

不過，實現EUV光源的方案不止一種，清華大學團隊想到了用加速器加速電子，從而產生高功率的輻射。

簡單來說，電子只要加速運動，就會發射電磁波，理論上只要加速度夠快，那么必然出現符合EUV波長的“光子”。

但光有一個“光子”還不夠，想做光刻機需要穩定的“光束”。

研究人員發現，當電子束繞過加速器后，受到磁場的作用，會形成精細的微結構，這種就是“微聚束”。

圖源 | 《自然》雜志

再讓這些微聚束穿入激光陣列，通過激光與電子的相互作用，形成有一定間隔，相對聚集的排列，就這樣，微聚束被“穩態”地保持了。

就這樣，穩態微聚束呈現出極紫外光的高功率與短波長，算得上一種全新的EUV光源解決思路。

光刻機做成“光刻廠”，靠不靠譜？

解釋完SSMB技術，光刻廠又是怎么一回事？

在網上，有人把“SSMB-EUV”光刻機稱作光刻工廠，甚至給出了工廠所在的地河北雄安新區，并貼出了相關圖片（注：網傳圖片為高能同步輻射光源項目，并非SSMB設施）。

據悉，除了3nm工藝外，4nm、7nm、14nm、28nm，但凡你聽說過的芯片制程工藝，都能在這個光刻工廠里解決。

圖源 | 微博

為了更好地理解，有人形象地將光刻工廠比喻成籃球架——如果說以前最中心的籃筐里（3nm）難度很大，那么就多加幾個籃筐（其他工藝），只要投籃次數夠多，總能投到最中心籃筐，而投不進的話，掉到其他籃筐里也能得分。

從原理上來說，光刻工廠和SSMB技術確實有很大的關聯性，都是利用電子束加速產生電磁波，從而得到對應的波長。由于粒子加速器體積大（加速器周長100-150米），同時需要很多配套設施，因此占地規模大也非常正常。

當然，方案可行，實施起來并沒有那么容易。

首先，從官方新聞稿看，這次在雄安新區落地的SSMB-EUV光源設施項目更接近科研用途，而不是實際生產。

從研發進程來看，SSMB-EUV技術在2021年在《Nature》雜志上正式刊登，通過原理驗證實驗，想在短時間內跨過下一步驗證，走向商用，還要一定時間。

其實，不論是光刻機還是光刻工廠，光源只是光刻機中的關鍵設備之一，其他配套設備同樣不可或缺。

作為一種全新的方案，其他國產替代設備是否適配SSMB-EUV技術，還是一個未知數。

最后，就是不少人提到的能源消耗和使用成本高的問題，雖然后續可以通過建造多條生產線將成本攤薄，但這就需要極強的規劃能力和長期運營能力。

總之，方案有了，思路有了，光刻工廠值得期待，但距離實際生產還有一段距離。

作者: 東北制造 時間: 2023-9-19 18:03

ヾ(❀╹◡╹)ﾉ~✧:;
期待～～～~~~···

作者: hl90 時間: 2023-9-19 19:16
看了很多這方面的報道，說實話，沒有一家能解釋的清楚這個所謂光刻廠原理的。
也沒有一家能說清中國7納米芯片怎么來的。

作者: fiyu1314 時間: 2023-9-20 09:38
不懂，不過看這個宣傳方式就不是好事，大家都知道一個道理叫悶聲發大財。這種短視頻天天講的，肯定是有某些目的的。
如果技術原理沒問題，合理的經濟投入，優秀的管理團隊，優秀的技術團隊再加時間，應該是沒問題的。但是這種宣傳就容易有資本介入，也容易引起一些居心不良的人或者國家注意，到時候收買或者安插幾個，可以做決策的人，隨意做幾個錯誤的決策，經濟時間損失就不一定多少。

作者: yyy_yuan 時間: 2025-6-5 10:33
工業強國！

作者: 尤其jx 時間: 2025-6-11 22:29

歡迎光臨機械社區 (http://www.hrhome.com.cn/)