$ G$ v! m& [$ x/ c梁福重 發表于 2017-9-18 06:144 O) ~% _$ Q$ X2 M, z5 u
精密絲杠或模組的定位精度，等級高的可以做到奈米分辨率，如芯片`半導體制程設備，但這樣的系統精度並非僅 ...
梁福重 發表于 2017-9-18 06:14
精密絲杠或模組的定位精度，等級高的可以做到奈米分辨率，如芯片`半導體制程設備，但這樣的系統精度並非僅 ...
清來 發表于 2017-9-18 09:08
要是用的是三菱電機或者松下電機搭高精度絲杠模組的話，短行程定位精度能做到um級嗎？
梁福重 發表于 2017-9-18 09:31
三菱/松下的電機及驅動控制單元基本做到um等級都是沒問題，但主要還是絲杠/滑臺模組精度要夠高(絲杠用細 ...
清來 發表于 2017-9-18 09:08
要是用的是三菱電機或者松下電機搭高精度絲杠模組的話，短行程定位精度能做到um級嗎？
yinzengguang 發表于 2018-2-22 20:38& x8 D/ b2 g% {
用不用加個光柵尺
梁福重 發表于 2017-9-18 06:14
精密絲杠或模組的定位精度，等級高的可以做到奈米分辨率，如芯片`半導體制程設備，但這樣的系統精度並非僅 ...
芊兒0702 發表于 2018-1-19 12:00) N# \2 N* `8 w0 j
微米級別沒問題的
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