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我西安普晶半導(dǎo)體設(shè)備有限公司常年生產(chǎn)多線切割機型號 DXQ-120A DXQ-150A 線切割是一種通過金屬絲的高速往復(fù)運動,把磨料帶入半導(dǎo)體加工區(qū)域進(jìn)行研磨,將半導(dǎo)體等硬脆材料一次同時切割為數(shù)百片薄片的一種新型切割加工方法。數(shù)控多線切割機已逐漸取代了傳統(tǒng)的內(nèi)圓切割,成為硅片切割加工的主要方式。 基于高精度高速低耗切割控制關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)的高精度數(shù)控多線高速切割機床,可全面實現(xiàn)對半導(dǎo)體材料及各種硬脆材料的高精度、高速度、低損耗切割,填補了國內(nèi)空白;成果具有多項自主知識產(chǎn)權(quán),整體技術(shù)達(dá)到國際先進(jìn)水平,其中切割線的張力控制技術(shù)、收放線電機和主電機的同步技術(shù)居于國際領(lǐng)先水平。 0 p. r, @# Q8 J" U
升降機構(gòu)采用高精度伺服絕對控制系統(tǒng),控制精度可達(dá)0.01mm
7 K5 D9 P& t4 X" j. D 切片速度:玻璃、水晶等:15mm/h,磁性材料、化合物等:12mm/h
! F/ X; H c- ^) b& B. _, |6 T 切片最小厚度:0.2mm; 7 u2 m/ Z) `+ _3 |
切割精度:平行度≤0.01mm;整板厚度偏差:≤0.02mm
6 @' m7 x6 N0 U. c8 a* ^! u 片粗糙度:0.8
. A R/ q& n) E2 L6 V8 Q1 { 可切割最大工件尺寸:120X100X85(mm) 150X100X85(mm) 羅拉外徑X羅拉長度X軸數(shù):(Ø88.5mm±Ø6.5mm) X100mmX3軸
! o& i+ X) [4 ?7 d2 V+ E 羅拉軸間距離:220mm 250mm: o. u# \0 U3 a
使用切割線直徑:Ø0.10mm~Ø0.18mm 7 l B x1 P& L
鋼絲運行速度:平均280m/min(最高320m/min)
6 D- v9 C/ e. ~: e$ [# l 鋼絲往復(fù)循環(huán)次數(shù):最多13次/分
1 @! ]6 ]' ]: M& Q; v 磨料: GC#600~#6000(JIS R6001)
3 _* k) k l4 d( t 工作臺升降行程:85mm 7 d, d3 ]5 M1 P0 F8 L
工作臺旋轉(zhuǎn)角度:0~±7.5度 7 e" L% q& B2 _ }$ `) r
切片速度:0.01~999.99mm/hour, g5 b" ?0 p K, y/ N8 x
有意的朋友可以與我聯(lián)系! 18991838060 童輝 |
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