日本電子零組件廠從家電轉移到手機與汽車零組件后,積極投入微機電(MEMS)傳感器研發,推出各種超小型與高精度的傳感器,擴大傳感器的應用;隨物聯網(IoT)概念興起,傳感器在物聯網社會中將扮演更重要的角色。( Z* H0 P& i& }3 k6 [, c1 T+ M
微機電傳感器依用途大致可分成二類:一,運動與方位傳感器,如羅盤功能用地磁傳感器,運動狀態用速度與加速度傳感器、傾斜傳感器、陀螺儀等,常用在導航系統;二,大氣資料傳感器,如溫度、濕度、壓力傳感器等,除氣象用途外,也可用在醫療保健又或汽車控制用途。
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北陸電氣工業(HDK)原本便生產多種傳感器,隨微機電傳感器在傳感器領域的重要性漸增,北陸電氣也轉而研發微機電技術,生產微機電傳感器,并將傳感器與基板等其他零組件、以及必須軟體,組成模組一起銷售,擴大相關事業。目前該社以超小型濕度傳感器為主力產品。
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村田制作所(Murata)踏入微機電領域,始自2012年購并前芬蘭傳感器大廠VTI Technology、改名為Murata Electronics Oy,接下來開始生產各種運動與方位用途的微機電傳感器,用在汽車、醫療保健、電力、生化研究、IT等各種領域。1 ]; }, }6 d s2 D, l7 y3 _
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目前村田強調的微機電傳感器,是全球首款表面實裝型角加速度傳感器,長5.2毫米(mm)、寬2.5毫米、高0.8毫米,可望取代過去的螺絲端子型或圓筒型角加速度傳感器,讓運動感測系統的設計更為多元。) `# _1 J( Z r$ O( r
; n( u0 q; Y' Q8 Y5 nTDK、 Alps電氣(Alps Electric)與羅姆半導體(Rohm Semiconductor)的微機電傳感器則以壓力或濕度感測為主,可感測高度差200毫米等級的微小氣壓差,足以精確測量高度。這些廠同時積極與運動 傳感器廠合作,推出結合運動方位感測與氣壓感測的傳感器模組,供智能型手機或穿戴式裝置應用。2 S6 y( Q! u1 }1 k+ Y% I
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而Mitsumi電機(Mitsumi Electric)與日本航空電子工業(JAE)等二廠,目前正在積極開發微機電傳感器,用于汽車及基礎建設市場。
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