納米級高效研磨加工技術(shù)

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納米級高效研磨加工技術(shù)

! `3 s: y! @' K5 @! r1 x) [9 t* p ]5 o5 n8 n& r5 Z6 s. c e* F' V* |: d0 k+ U. Q, b8 L 6 K9 }- ^2 O7 s# T $ z* p! Y: S( E3 ?8 u! O, B      　　本項(xiàng)目將固著磨料高速研磨技術(shù)與磨具保型磨損理論和工件均勻研磨加工技術(shù)相結(jié)合，實(shí)現(xiàn)了納米級高效研磨加工，從而提高我國機(jī)械加工技術(shù)水平，特別是超精密加工技術(shù)水平。 　　納米級高效研磨加工技術(shù)主要適合應(yīng)用于單平面和雙平面的超精密研磨加工，其加工精度要求達(dá)到納米級水平。該技術(shù)主要是采用固著磨料高速研磨加工技術(shù)，固著磨料高速研磨與傳統(tǒng)的散粒磨料研磨不同，其磨料的密度分布是可控的。利用固著磨料研磨的這一特點(diǎn)，根據(jù)工件磨具間的相對運(yùn)動軌跡密度分布，合理地設(shè)計(jì)磨具上磨料密度分布，以使磨具在研磨過程中所出現(xiàn)的磨損不影響磨具面型精度，從而顯著提高工件的面型精度，并且避免修整磨具的麻煩。在平面固著磨料研磨中，磨具的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動是主運(yùn)動，工件的運(yùn)動是輔助運(yùn)動。在大部分情況下，工件是浮動壓在磨具上，其運(yùn)動規(guī)律是未知的。因此，要對工件受力進(jìn)行分析，才能求出其受力狀態(tài)及運(yùn)動規(guī)律。取工件為整個(gè)研磨系統(tǒng)的分離體，建立工件受力平衡微分方程，求解該方程就能得到工件的運(yùn)動規(guī)律。一旦掌握了磨具和工件的運(yùn)動規(guī)律，就可以求出它們間的相對運(yùn)動及相對運(yùn)動軌跡密度分布。從而根據(jù)工件相對磨具的運(yùn)動軌跡密度分布，設(shè)計(jì)磨具上磨料密度分布，使得磨具在磨損后不喪失原有的面型精度，這就保證了工件的面型精度。 　　本項(xiàng)目在原有的單平面磨具保型磨損理論的基礎(chǔ)上，開發(fā)出工件均勻研磨技術(shù)，從而進(jìn)一步提高了工件的面型精度，同時(shí)還建立了固著磨料雙平面高速研磨磨具保型磨損理論，研制了雙平面高速研磨機(jī)，并進(jìn)行了固著磨料雙平面高速研磨加工實(shí)驗(yàn)，通過實(shí)驗(yàn)完善了有關(guān)加工工藝和研磨機(jī)，實(shí)現(xiàn)了對工件的兩個(gè)平行表面同時(shí)進(jìn)行高速研磨加工。本項(xiàng)目還研究了固著磨料高速研磨中工件加工表面的形成規(guī)律，探討了有關(guān)研磨參數(shù)對工件加工表面的影響規(guī)律，并在此基礎(chǔ)上，進(jìn)一步提高了工件的表面質(zhì)量，實(shí)現(xiàn)了低成本、高效率的納米級研磨加工，工件已加工表面粗糙度達(dá)0.88nm。

livecs68

樓主是精密設(shè)備方面的人嗎?

天氣

恩，做精密研磨設(shè)備的

livecs68

磨12寸片的?

天氣

12寸，太小了，我們最大可以精密研磨36寸以上的，甚至更大，不過那機(jī)器太貴了

livecs68

36寸是機(jī)器的尺寸吧,樓主是干晶園的嗎,實(shí)用的晶園好象是12寸耶.

天氣

呵呵，猜錯了呵呵，。另一個(gè)帖我回了，我是做研磨拋光設(shè)備的，用戶很廣泛，不單單是硅晶體，密封，玻璃，航空等等，都是。。那些東西尺寸可就不一樣了，大小都有

livecs68

噢,樓主不光拋晶園,還拋別的東西,應(yīng)該能拋大型物鏡吧,什么控制方式,精度達(dá)到怎樣,在以后的大型太空望遠(yuǎn)鏡的生產(chǎn)中能有作為嗎?

天氣

設(shè)備控制方式有多種，普通的，PLC控制，CNC控制，研磨拋光平面度可以達(dá)到1/10光帶吧。至于你說的物鏡，應(yīng)該是凹凸的吧，工廠內(nèi)的研磨拋光車間目前對平面的研磨拋光可以做到最好，對于曲面可能還得公司的英美總部做，中國工廠將來會很有發(fā)展的。。