淺聊下激光干涉儀測量協(xié)作機器人DD馬達旋轉精度

中圖儀器1

標準的協(xié)作機器人關節(jié)模組由角度編碼器、直驅(qū)電機(DD馬達)、驅(qū)動器、諧波減速機、剎車、扭矩傳感器等元器件組成，DD馬達摒棄了傳統(tǒng)減速機構，將負載與電機轉子直接耦合，成就了協(xié)作機器人流暢的關節(jié)運動。但這一革命性設計也帶來了嚴苛的精度挑戰(zhàn)：任何微小的角度偏差都被直接放大為末端執(zhí)行器的軌跡誤差！

當協(xié)作機器人需要執(zhí)行微米級的精密任務時，如何確保其核心動力單元DD馬達的旋轉精度達到角秒級？答案藏在一束激光的干涉條紋之中。
解決方案：SJ6000激光干涉儀+角度反射鏡組+WR50自動精密轉臺，測量精度：±1″；分辨力：0.01″。

DD馬達旋轉角度測量示意圖

9 K& P1 `4 ]  Q3 f4 M測量流程：
/ p% _4 r+ s1 ~. S/ N3 _' j將WR50自動精密轉臺固定在馬達軸心，其頂部反設鏡可相對基座反向旋轉，反射鏡始終與激光束角度鎖定在0.5度內(nèi)，轉臺每旋轉5°，反射鏡即反向旋轉5°，此時軟件將WR50的精密圓光柵角度值和SJ6000的角度值進行合并計算，得出馬達實際轉動的角度。

9 o6 F8 M. {  ?' t! ^3 E! _# U6 a
5 ]: K' B% W: v7 r  A: w1 p
& d. r8 }: ^* Z4 r! U; }1 u激光干涉儀測量結束后自動進行補償，確保DD馬達旋轉精度符合要求。


補償前數(shù)據(jù)

9 e, \* _; Z+ f) a
3 ~' D* K) u3 C5 [: w# e: g6 \補償后數(shù)據(jù)
0 G5 J3 V0 J$ s( G從汽車工廠的裝配線到無塵室里的芯片制造，協(xié)作機器人正以人類般的靈巧重塑產(chǎn)業(yè)。而在這背后，是以激光干涉儀為代表的精密測量儀器的默默守護，為協(xié)作機器人的安全高效精準運行保駕護航。
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走江湖

雷尼紹XR20

lanyuedao

看起來是用于每臺機器人最終標定，確定補償值。
. N! H% q- Y4 A+ Phttp://www.hrhome.com.cn/thread-453514-1-1.html
: p! w' Y5 w* P. b' o8 _貼一篇舊貼。當絕對精度不夠的時候，激光干涉儀能做什么事情？

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走江湖 發(fā)表于 2025-6-12 09:50
雷尼紹XR20

) p, c! C8 ]) ?, D( N5 K雷尼紹不是這樣的

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WR50自動精密轉臺,脫離激光干涉儀,獨立旋轉,絕對定位精度和重復性可以達到多少