真空機組搭配，請教

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晶戈鐵馬

電梯直達

1^#

發表于 2012-2-9 10:42:36 | 只看該作者 |倒序瀏覽 |閱讀模式

假如需要給一個1000mm×1000mm×1000mm的真空室配一套真空機組，高真空，真空度要求能達到5×10e-3pa,采用分子泵加旋片泵的組合。

現在想知道的是：

一臺抽速1300L/s的分子泵抽和10臺抽速110L/s的分子泵抽，哪個效果更好？然后假如選用1300L/s的分子泵，前級旋片泵的抽速應選多大？

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2266998

2^#

發表于 2012-2-9 11:08:03 | 只看該作者

這個得計算，復雜也不負責，但得算，

你算好了，也可以發上來，大家給你看看，猜謎是不行的，

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晶戈鐵馬

3^#

樓主| 發表于 2012-2-9 14:28:49 | 只看該作者

2266998 發表于 2012-2-9 11:08
! G3 d/ v* E6 x: \這個得計算，復雜也不負責，但得算，
" d9 v6 q0 e, D& c# d; n- w- D& F2 [- A
你算好了，也可以發上來，大家給你看看，猜謎是不行的，

998大俠：如果前級抽到1000Pa的時候開分子泵，抽到1000Pa這個時間相對于整個抽氣時間是不是可以忽略不計？按高真空下的抽氣時間算，主要考慮真空室材料的出氣率，但是這個材料出氣率的表我沒有...，還有就是10個110L/s小分子泵同時抽，是單純的疊加為1100L/s嗎？還有對于1300L/s的分子泵，查到前級選12L/s的泵就可以了。

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2266998

4^#

發表于 2012-2-9 14:35:47 | 只看該作者

晶戈鐵馬發表于 2012-2-9 14:28
* n# x0 D* C" ]: k/ O! n0 V998大俠：如果前級抽到1000Pa的時候開分子泵，抽到1000Pa這個時間相對于整個抽氣時間是不是可以忽略不計？ ...

對于一個真空系統，你要計算，而不是估計，怎么玩，阿拉告訴你，

對于一種真空泵，有一個工作曲線，即在一定時間內，一定工況下，可以達到的真空度，這個還要結合工程熱力學計算，因為隨著抽氣，溫度是變化的，曲線也是變化的，這個要計算，

粗真空系統，到一個真空度，就沒有效果了，這個要計算，比如升溫，還可以繼續抽氣，這個要折算，

轉換的時候，要考慮閥的密封性，再計算細真空的抽氣速率，

總之，這是技術工作，要每個步驟玩出來，不能估計什么東西，別人說的也未必對，尤其網上，胡說的非常多，說了也不負責，比如阿拉，哈哈，

你按阿拉說的，每個步驟耐心玩吧，

點評

2266998

當你不完全明白人家的工藝時，只能給人家建議，不能包辦什么，對一個自己不完全了解的過程，說的過細了，后果是嚴重的，人家按你數據做了，造成大的損失，你負責嗎？所以，你只能說技術的過程，實現他是人家的事情發表于 2012-2-11 16:43

xiaoyetongxu

久久發，只對自己的技術負責。發表于 2012-2-11 01:20

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喝水都發胖

5^#

發表于 2012-5-30 16:54:05 | 只看該作者

根據樓主描述的真空腔體，是個不算大的，而且真空度要求也是中真空，很容易達到。

對于這樣的真空腔體，除非你有特別的抽氣時間需求，否則選大泵和小泵都是一個樣。另外如果樓主說的10臺小泵采取分布式安裝，那當然要好點，但分布式安裝的其前級泵如何處理？

所以啊還是根據腔體上開口尺寸選擇一臺分子泵+機械泵組合即可，建議分子泵選擇600L/S的，前級泵選擇6~8 L/S的就完完全全的滿足要求了。

再大的分子泵，你就會發現等機械泵抽到10~1 Pa后啟動分子泵，還沒等分子泵滿轉速頻率，真空度已經達到你的要求了。呵呵

以上的前提是真空腔體不存在大的泄漏，內部材料不存在大的漏放率。

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喝水都發胖

6^#

發表于 2012-5-30 16:59:42 | 只看該作者

另外補充一點

計算過程我就沒幫你算了，你自己下載真空設計手冊算算吧，有相應的章節

計算選擇什么樣的泵所需要的抽氣時間

前級泵的選擇等等。

下載地址我找了個百度網盤的，正規的。

http://pan.baidu.com/netdisk/singlepublic?fid=228853_149853622