電容微位移傳感器是通過什么來實(shí)現(xiàn)測量的，有什么方法？

xhy0716

電容微位移傳感器是通過什么來實(shí)現(xiàn)測量的，有什么方法？

baikenor

電阻應(yīng)變形式的傳感器一般是組成電橋，靠直流電壓激勵(lì)，當(dāng)收到壓力等信號(hào)時(shí)，電阻發(fā)生變化，兩端輸出壓差信號(hào)
- r6 g+ h* T. Z2 I
電容由于直流無法通過，采用交流激勵(lì)，電容在交流下有阻抗，這樣就和直流激勵(lì)電阻一樣了，一樣分析，當(dāng)電容變化（介質(zhì)變化，基板距離，大小變化）的時(shí)候，  兩端也會(huì)有電壓輸出

電感性的傳感器也是交流激勵(lì)，當(dāng)電感的鐵芯，或者線圈變化時(shí)，也會(huì)有電壓輸出
/ L9 V5 M3 m6 [' S# r) I3 F0 c
- U: e; v( L2 F& C$ B: M+ C* h
+ w+ o9 Q7 R% C6 A+ @0 z& f. L