石墨烯試制氣體傳感器，可檢測出7ppb的NO2

寂靜天花板

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氣體傳感器的結構概要（圖像：IEDM）

6 ?$ q+ _2 ]" F& ~! R' P' y富士通開發出了采用石墨烯的半導體氣體傳感器。將在半導體元件及工藝技術相關國際會議“IEDM 2016”（12月3〜7日、舊金山）上就其詳細情況發表演講（演講序號：18.2）。該傳感器的特點是靈敏度較高，選擇性較大。
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試制的氣體傳感器將普通的MOSFET柵極電極換了成了石墨烯。這樣一來，NH3和NO2吸附到石墨烯上時，MOSFET的漏極電流就會出現變化。檢測到NO2時，MOSFET的漏極電流會減少，檢測到NH3時，MOSFET的漏極電流會增加。

/ h/ q! w: ^# @- C6 v. i3 P通過檢測這種漏極電流的變化，在室溫下，可檢測到7ppb（1ppb為十億分之一）的NO2和420ppb的NH3。不過，該傳感器對SO2、H2S和乙醛基本無反應。傳感器的靈敏度可以調節。

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