傳感器技術(shù)向微型化、智能化、多功能化方向發(fā)展

寂靜天花板

MEMS是指可批量制作的，集微型機構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS技術(shù)是隨著半導體集成電路微細加工技術(shù)和超精密機械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的。借助MEMS技術(shù)的發(fā)展，傳感器技術(shù)將朝著微型化、智能化、多功能化的方向發(fā)展，這也正適合自動化和工業(yè)控制對傳感器性能的需求。
$ I7 F, Z# `0 t, G, Q2 i3 i/ s        目前，傳感器行業(yè)正處于傳統(tǒng)型向新型傳感器轉(zhuǎn)變的發(fā)展時期。新型傳感器主要表現(xiàn)在微型化、數(shù)字化、智能化、多功能化、系統(tǒng)化和網(wǎng)絡化等多方面，它不僅有利于傳感器行業(yè)進行產(chǎn)業(yè)升級，還能對建立21世紀新型工業(yè)很有幫助。微型化是建立在MEMS技術(shù)基礎上的，目前已成功生產(chǎn)出硅壓力傳感器。
        除MEMS技術(shù)之外，材料技術(shù)（如納米技術(shù)）也推動著傳感器技術(shù)的發(fā)展，新一代光纖傳感器、超導傳感器、生物傳感器、納米傳感器以及微型陀螺儀等等相繼出現(xiàn)。
* L0 t. Y( R3 a  z4 F        多傳感器數(shù)據(jù)融合技術(shù)目前越來越受到大家的重視，它是基于在多個傳感器測量結(jié)果基礎上，實現(xiàn)更高層次的綜合決策。有鑒于傳感器微型化、智能化和多功能化的水平的提高，所獲得的信息將大大增加，多種功能進一步集成以致于融合，是必然的發(fā)展趨勢，這也將從側(cè)面促進傳感器技術(shù)的發(fā)展。
        國內(nèi)傳感器廠家和研究機構(gòu)，要緊跟傳感器技術(shù)發(fā)展的潮流，適時推出具有市場競爭力的產(chǎn)品，積極拓寬國內(nèi)國外兩個市場，提高我國工業(yè)領(lǐng)域在國際上的形象。