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關于環境因素 影響激光干涉儀測量精度的環境因素主要指： 1、 當前測量環境下的空氣溫度、濕度、大氣壓力，影響在空氣中傳播的激光波長。 2、 被測工件溫度，影響被測對象的熱膨脹量。本文不做分析，將在下篇細述。 關于激光干涉儀SJ6000激光干涉儀 激光干涉儀有單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀，二者都是采用外差干涉原理，而區別在于計算公式，如下所示： 單頻激光干涉儀，線性測量的計算公式：L＝Nλ／2，其中L為位移，N為干涉條紋數目，λ為激光波長。 雙頻激光干涉儀，線性測量的計算公式： 其中L為位移，t為時間，△f為由于運動而引起的頻移，λ為激光波長。 激光波長影響分析結合激光干涉儀兩個線性測量的公式同時進行分析： 1、 單頻激光干涉儀，若移動半個激光波長，光電探測器將采集到明暗變化1次，干涉條紋數目則N＋1，該項幾乎不會引入誤差。而雙頻激光干涉儀，△f在時間上積分的結果相當于N，同樣也幾乎不會引入誤差。 2、 兩個公式都含有激光波長λ，而λ的精度直接取決于波長的穩定度，通常要高于線性測量精度指標一個量級，即≤0.05ppm。所以在標準空氣參數的環境條件下，理論上L的線性測量精度也應該為0.05ppm，然而通過Edlen公式可以獲知激光波長λ會受到環境因素的影響，參見表1，所以實際應用中L的線性測量精度標為0.5ppm不無道理。 激光波長穩定度和環境因素對波長的影響 綜上，對環境因素進行綜合考量，最壞的情況下將會給線性測量精度引入0.48ppm的誤差。 所以，暫且可以得出下面的結論： 1、 激光干涉儀線性測量精度主要取決于激光波長穩定度和環境因素； 2、 單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀在線性測量精度上并無本質區別； 3、 若不考慮被測對象因素的影響，激光干涉儀在線性測量過程中，誤差主要來源是由環境因素導致的。 EC20環境補償單元激光干涉儀配備的EC20環境補償單元，由環境補償主機（內置濕度傳感器和氣壓傳感器）、空氣溫度傳感器和3個材料溫度傳感器組成，可實現對空氣溫度、濕度、大氣壓力和材料溫度的實時高精度檢測。 EC20環境補償單元 EC20環境補償單元在出廠前，會依照相關計量標準對各環境參量進行精確校準，通常情況下建議24個月校準一次。 在使用EC20環境補償單元過程中，在不影響測量光路和被測物體運動的前提下，建議將環境補償主機和空氣溫度探頭就近于測量光路中間處放置。至于材料溫度探頭該如何布置或應用，則需分不同的測量場合與不同的被測對象，小編將會作為激光干涉儀的測量關鍵點進行細述，欲知詳情，且聽下回分解 。 3 x9 r+ X8 G% }- Q
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發表于 2017-12-29 15:35:27
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